Digitoday

Valikko

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.
TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Sudet tarttuivat 7-vuotiaaseen poikaan Ähtärin eläinpuistossa – vammat vakavia

    2. 2

      Yleinen virhe wc-pöntöllä: Tästä syystä pyttyyn jää helposti ”jarrutusjäljet”

    3. 3

      Lukiolaistytön viattomasta kuvasta paljastui härski yllätys – mokasta kasvoi maailmanlaajuinen someilmiö

    4. 4

      Teinitytön murhasta epäilty vangittiin – näytti oikeussalissa keskisormea

    5. 5

      Huippukokin pari niksiä: Näin syntyy fantastinen makaronilaatikko

    6. 6

      Cheyenne Järvinen avautuu vihdoin Janna Hurmerinnan ja Junon avioliiton tuhonneesta salasuhteesta – Juno kiitti kohukaunotarta jälkikäteen

    7. 7

      Prinsessa Madeleinen dekoltee varasti huomion hovin juhlaillallisella – edusti upeana syvään uurretussa iltapuvussa

    8. 8

      Suomen ykköstykki ei hiihdä pariviestiä – Aino-Kaisa Saariselle aukesi MM-mitalisauma Lahdessa

    9. 9

      Norjalaisurheilijat kasvomaskit päällä MM-Lahteen: ”Nämä ovat vainoharhaisuuden MM-kisat”

    10. 10

      Kimmo, 47, heräsi yöllä karmeaan jysähdykseen – rekan lava syöksyi läpi talon seinästä: ”Ajattelin, että nyt sortuu torppa”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Nokialla pahoinpidelty 17-vuotias tyttö on kuollut

    2. 2

      Donald Trumpin Tiffany-tytär, 23, nolattiin muotitapahtumassa – kukaan ei halunnut istua vieressä: ”Ihmiset pakenivat”

    3. 3

      Emmerdalesta tuttu näyttelijä kihlautui Britannian väkivaltaisimman ja vaarallisimman vangin kanssa: ”Olen rakastunut häneen”

    4. 4

      Sastamalan surmakuskin vaimo hakee eroa

    5. 5

      Rakastunut Olli Lindholm kertoo ensi kertaa: Tällainen on uusi naisystävä Eveliina, 35: ”En ole koskaan tavannut hänen kaltaistaan”

    6. 6

      Hurjat rakkauskilot: Vaimo jättää Askon WhatsApp-viestillä yhtäkkiä: ”Miksei soittanut ja kysynyt, voidaanko nähdä?”

    7. 7

      Äiti ihmettelee, miksi kuollut poika saa yhä karhukirjeitä – ”Häntä uhataan oikeuden­käynneillä”

    8. 8

      Huippukokin pari niksiä: Näin syntyy fantastinen makaronilaatikko

    9. 9

      WhatsAppiin tärkeä uudistus - saattaa muuttaa sen käytön täysin

    10. 10

      Saara Aalto esittelee prinsessaleikkejä Maria Veitolalle – juontaja pakenee ulos: ”Sisällä tapahtuu pöyristyttäviä asioita”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Prisman kassamyyjä sai pyörätuolimiehen itkemään Helsingissä – jonossa ollut Jatta riensi apuun: ”Olin niin kiukkuinen”

    2. 2

      Tutkijat tekivät pelottavan löydön merenpohjasta 10 kilometrin syvyydestä

    3. 3

      MTV: Saara Aalto kärsii kiusallisesta ja kivuliaasta naistentaudista: ”Ei parannuskeinoa”

    4. 4

      Pekka Vähäsöyrinki tunnusti Mika Myllylän haudalla, milloin dopinginkäyttö alkoi: ”Siinä hetkessä annoin periksi”

    5. 5

      Nuori mies jäi kiinni pettämisestä nololla tavalla – typerä töppäys sosiaalisessa mediassa kavalsi

    6. 6

      Stubb opetti Trumpille faktoja Ruotsista – viesti sytytti kiivaan keskustelun

    7. 7

      Kanadan hurmuriministeri sai Ivanka Trumpin pasmat sekaisin – flirttaileva kuva leviää vauhdilla

    8. 8

      Vuosikymmeniä mietityttänyt arvoitus ratkesi – Harri Kirvesniemi kertoo, miksi hiihti aina pää kenossa

    9. 9

      Sunnuntailisät pois, työpäivän pituus 12 tuntiin? ”Tehdään työtä silloin, kun sitä on”

    10. 10

      Donald Trumpilta outo viittaus Ruotsiin: ”Katsokaa, mitä tapahtui eilen illalla Ruotsissa – kuka olisi uskonut?”

    11. Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Sudet tarttuivat 7-vuotiaaseen poikaan Ähtärin eläinpuistossa – vammat vakavia

    2. 2

      Yleinen virhe wc-pöntöllä: Tästä syystä pyttyyn jää helposti ”jarrutusjäljet”

    3. 3

      Lukiolaistytön viattomasta kuvasta paljastui härski yllätys – mokasta kasvoi maailmanlaajuinen someilmiö

    4. 4

      Teinitytön murhasta epäilty vangittiin – näytti oikeussalissa keskisormea

    5. 5

      Huippukokin pari niksiä: Näin syntyy fantastinen makaronilaatikko

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Nokialla pahoinpidelty 17-vuotias tyttö on kuollut

    2. 2

      Donald Trumpin Tiffany-tytär, 23, nolattiin muotitapahtumassa – kukaan ei halunnut istua vieressä: ”Ihmiset pakenivat”

    3. 3

      Emmerdalesta tuttu näyttelijä kihlautui Britannian väkivaltaisimman ja vaarallisimman vangin kanssa: ”Olen rakastunut häneen”

    4. 4

      Sastamalan surmakuskin vaimo hakee eroa

    5. 5

      Rakastunut Olli Lindholm kertoo ensi kertaa: Tällainen on uusi naisystävä Eveliina, 35: ”En ole koskaan tavannut hänen kaltaistaan”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Prisman kassamyyjä sai pyörätuolimiehen itkemään Helsingissä – jonossa ollut Jatta riensi apuun: ”Olin niin kiukkuinen”

    2. 2

      Tutkijat tekivät pelottavan löydön merenpohjasta 10 kilometrin syvyydestä

    3. 3

      MTV: Saara Aalto kärsii kiusallisesta ja kivuliaasta naistentaudista: ”Ei parannuskeinoa”

    4. 4

      Pekka Vähäsöyrinki tunnusti Mika Myllylän haudalla, milloin dopinginkäyttö alkoi: ”Siinä hetkessä annoin periksi”

    5. 5

      Nuori mies jäi kiinni pettämisestä nololla tavalla – typerä töppäys sosiaalisessa mediassa kavalsi

    6. Näytä lisää