Digitoday

Valikko

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.


TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      X Factor -finalistin karu yllätys: kotiinpaluujuhlassa yleisökato – tyly kontrasti Saara Aallon Helsinki-hysteriaan

    2. 2

      Kihlasormus lensi Linnan jatkoilla – Heikki Lampelan ja Hanna Kärpäsen illalle dramaattinen päätös: ”Rapatessa roiskuu”

    3. 3

      Kadetti poistettiin rivistä kesken Linnan juhlien kättelyn – ”Hän alkoi voida huonosti”

    4. 4

      Järkyttävä tragedia golfin huipputurnauksessa – ”Kaikki ovat shokissa ja järkyttyneitä”

    5. 5

      Liivijengi jakoi kinkkuja Helsingissä – poliisi kiinnostui

    6. 6

      Hillitön Suomi-mainos kerää huomiota maailmalla: ”Kukaan järjissään oleva ei tulisi Helsinkiin marraskuussa…”

    7. 7

      Hänellä oli Linnan juhlien rohkein iltapuku – IS:n lukijat äänestivät illan räväyttävimmän pukeutujan

    8. 8

      Ruben Stiller yllättäen pois tv-ruudusta

    9. 9

      Ylen toimitusjohtaja selvittää hallintoneuvostolle uutistoimituksen riippumattomuuden – kommentoi työilmapiiriä

    10. 10

      Hiihdon olympiavoittajan kova väite: ”Venäjän maajoukkueessa oli paljon dopingia”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Linnan jatkoilla nousi hässäkkä – Heikki Lampela ja Hanna Kärpänen sisään vahvassa juhlatunnelmassa: ”Haluan seikkailuja”

    2. 2

      Matti Vanhasen tyrmäävä naisystävä Heidi säväytti Linnassa – sahaperijättären mekko paljasti dekolteen

    3. 3

      Hänellä oli Linnan juhlien rohkein iltapuku – IS:n lukijat äänestivät illan räväyttävimmän pukeutujan

    4. 4

      Poptähti Robinilla, 18, Linnan juhlien erikoisin puku ja eriparikengät – katso kuva! Aikoo maistella kuuluisaa boolia

    5. 5

      Kansanedustaja Tytti Tuppuraista, 40, ei ole tunnistaa – asteli Linnaan tyrmäävänä tiukassa punaisessa mekossa

    6. 6

      Pelaa Suomi-visaa: Vain suomalainen tietää vastauksen näihin 40 kysymykseen

    7. 7

      Linnan juhlien paljastavimmat iltapuvut – paljasta pintaa ja syviä kaula-aukkoja! Kuka räväytti eniten?

    8. 8

      Kuka on Linnan juhlien kuningatar – äänestä!

    9. 9

      Oaklandin tulipalossa kuolleen suomalaisen Hannan isä: ”Suru on ihan järjetön”

    10. 10

      Patrik Laine syö legendoja aamupalakseen – tämä kuva tekee hänelle kunniaa

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Poliisi IS:lle: Tällainen tausta Imatran epäillyllä 23-vuotiaalla kolmoismurhaajalla on

    2. 2

      WhatsApp katoaa miljoonista puhelimista – katso, onko omasi listalla

    3. 3

      7 yleisen syövän varhaiset varoitusmerkit – tunnista ajoissa

    4. 4

      Tuulenvire paljasti Donald Trumpin omituisen ”asumokan” – netti sekosi lentokentältä napatusta kuvasta

    5. 5

      Perhesyyt eivät painaneet? Mika Salolla teoria Nico Rosbergin lopettamisesta: ”Kukaan ei tajua sitä…”

    6. 6

      Todelliset syyt, joiden vuoksi naiset voihkivat seksin aikana

    7. 7

      Nainen teki ”pettämistestin” poikaystävälleen – lopputulos ei ilahduttanut, videolla jo 6 miljoonaa katselukertaa

    8. 8

      Eija, 32, huomasi vauvansa olevan erilainen – elämä muuttui pikkuhiljaa painajaiseksi

    9. 9

      Uutisvuodon Sipilä-vitsi hämmensi lauantai-iltana – Mitä lähetyksessä tapahtui?

    10. 10

      Saara Aallon uskomaton Chandelier-esitys sai Sharonin kyyneliin – ei saanut sanaa suustaan, juontaja joutui pelastamaan tilanteen

    11. Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      X Factor -finalistin karu yllätys: kotiinpaluujuhlassa yleisökato – tyly kontrasti Saara Aallon Helsinki-hysteriaan

    2. 2

      Kihlasormus lensi Linnan jatkoilla – Heikki Lampelan ja Hanna Kärpäsen illalle dramaattinen päätös: ”Rapatessa roiskuu”

    3. 3

      Kadetti poistettiin rivistä kesken Linnan juhlien kättelyn – ”Hän alkoi voida huonosti”

    4. 4

      Järkyttävä tragedia golfin huipputurnauksessa – ”Kaikki ovat shokissa ja järkyttyneitä”

    5. 5

      Liivijengi jakoi kinkkuja Helsingissä – poliisi kiinnostui

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Linnan jatkoilla nousi hässäkkä – Heikki Lampela ja Hanna Kärpänen sisään vahvassa juhlatunnelmassa: ”Haluan seikkailuja”

    2. 2

      Matti Vanhasen tyrmäävä naisystävä Heidi säväytti Linnassa – sahaperijättären mekko paljasti dekolteen

    3. 3

      Hänellä oli Linnan juhlien rohkein iltapuku – IS:n lukijat äänestivät illan räväyttävimmän pukeutujan

    4. 4

      Poptähti Robinilla, 18, Linnan juhlien erikoisin puku ja eriparikengät – katso kuva! Aikoo maistella kuuluisaa boolia

    5. 5

      Kansanedustaja Tytti Tuppuraista, 40, ei ole tunnistaa – asteli Linnaan tyrmäävänä tiukassa punaisessa mekossa

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Poliisi IS:lle: Tällainen tausta Imatran epäillyllä 23-vuotiaalla kolmoismurhaajalla on

    2. 2

      WhatsApp katoaa miljoonista puhelimista – katso, onko omasi listalla

    3. 3

      7 yleisen syövän varhaiset varoitusmerkit – tunnista ajoissa

    4. 4

      Tuulenvire paljasti Donald Trumpin omituisen ”asumokan” – netti sekosi lentokentältä napatusta kuvasta

    5. 5

      Perhesyyt eivät painaneet? Mika Salolla teoria Nico Rosbergin lopettamisesta: ”Kukaan ei tajua sitä…”

    6. Näytä lisää