Digitoday

Valikko

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.


TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Loimaalaisen Tommin Gambian-matka loppui lyhyeen: ”Sinne jäi rahat”

    2. 2

      6 yleistä virhettä, jotka sinäkin luultavasti teet joka kerta suihkussa

    3. 3

      Kumppaniaan pettänyt listaa: ”Olisinpa tiennyt nämä asiat ennen kuin petin”

    4. 4

      Presidentti Trump matkalla kohti Valkoista taloa

    5. 5

      Kaksi vuotta sairaalassa ollut mies ajettiin oikeuden päätöksellä pois – ”Oli kuin hotellissa”

    6. 6

      Tässä Trumpin koko kohuttu puhe – lue sanasta sanaan

    7. 7

      Obamat paljastivat tulevaisuutta koskevia suunnitelmiaan

    8. 8

      Rajuja mellakoita Washingtonissa – vasaroin varustautuneet kahakoitsijat heittelevät kadunpaloja ikkunoista sisään

    9. 9

      Kiusallinen sekaannus Melania Trumpin ja Michelle Obaman välillä – presidenttiparit pyörivät Valkoisen talon portailla hämmentyneinä

    10. 10

      Barron, 10, teki sen taas – haukotteli leveästi isänsä suurena päivänä

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Uimapukumalli Chrissy Teigen jakoi rehellisen kuvan reisistään – miehet hämmentyivät: ”Olen katsonut tätä jo minuutin, ja...”

    2. 2

      Juo aamulla vettä tyhjään vatsaan – 8 mahtavaa vaikutusta

    3. 3

      Psykologi lataa: ADHD-tyyppisistä oireista suuri osa johtuu vanhemmuuden puutteesta

    4. 4

      Dramaattiset kuvat: Myrskypuuska romahdutti rakenteilla olleen, yli 100-neliöisen talon maan tasalle Kuopiossa

    5. 5

      Serbian seksikkäin laulaja Milica, 25, purskahti korsetistaan ulos kesken keikan – yleisö villiintyi

    6. 6

      Presidentti Trump matkalla kohti Valkoista taloa

    7. 7

      Mies oli kaljalla kavereidensa kanssa: Keksi ”nerokkaan” tavan huijata naiselleen olevansa omassa pedissään – ”Taas yksi syy olla luottamatta miehiin”

    8. 8

      Ex-mies haukkui lihavaksi – nainen laihdutti 65 kiloa: Ihastuttaa nyt tuhansia Instagramissa poseeraamalla kuin fitnessjumalatar

    9. 9

      Jasmin Mäntylä poseeraa topless-kuvassa pelkkä pyyhe lanteillaan – lähettää viestin Instagram-seuraajilleen

    10. 10

      Haapaveden tragedian sotaveteraani taisteli oikeudessa sairauskorvauksesta – ”Loppuun saakka terävä pää”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Juo aamulla vettä tyhjään vatsaan – 8 mahtavaa vaikutusta

    2. 2

      Madonna julkaisi haarovälikuvan – Piers Morgan: ”Oksensin aamupalani”

    3. 3

      Valesotilas yritti huijata – Tiina vedättikin takaisin: ”Naurettiin ukkoni kanssa niin, että mahaan koski”

    4. 4

      Häikäisevän kaunis morsian! Mika Häkkinen ja Marketa pääsivät poroajelun kyytiin – suloiset lapset mukana

    5. 5

      Mikan ja Marketan rakkaustarina – saksalaislehti paljasti kaunottaren menneisyyden

    6. 6

      Perhe etsii vastausta kammottavaan kuvaan – mitä tai mikä ilmestyi yhtäkkiä yöllä kotipihalla otettuun valokuvaan?

    7. 7

      Serbian seksikkäin laulaja Milica, 25, purskahti korsetistaan ulos kesken keikan – yleisö villiintyi

    8. 8

      Nainen synnytti salaa vessassa – raskaudesta tietämättömät vanhemmat havahtuivat pamaukseen

    9. 9

      Kolme povekasta blondia: Natalie, 45, sekoitetaan jatkuvasti tyttäriinsä – erotatko kuvista kuka on äiti?

    10. 10

      Yksi kuoli rekan pudottua moottoritieltä Lohjalla – erikoinen tapahtumaketju johti karmeaan turmaan

    11. Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Loimaalaisen Tommin Gambian-matka loppui lyhyeen: ”Sinne jäi rahat”

    2. 2

      6 yleistä virhettä, jotka sinäkin luultavasti teet joka kerta suihkussa

    3. 3

      Kumppaniaan pettänyt listaa: ”Olisinpa tiennyt nämä asiat ennen kuin petin”

    4. 4

      Presidentti Trump matkalla kohti Valkoista taloa

    5. 5

      Kaksi vuotta sairaalassa ollut mies ajettiin oikeuden päätöksellä pois – ”Oli kuin hotellissa”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Uimapukumalli Chrissy Teigen jakoi rehellisen kuvan reisistään – miehet hämmentyivät: ”Olen katsonut tätä jo minuutin, ja...”

    2. 2

      Juo aamulla vettä tyhjään vatsaan – 8 mahtavaa vaikutusta

    3. 3

      Psykologi lataa: ADHD-tyyppisistä oireista suuri osa johtuu vanhemmuuden puutteesta

    4. 4

      Dramaattiset kuvat: Myrskypuuska romahdutti rakenteilla olleen, yli 100-neliöisen talon maan tasalle Kuopiossa

    5. 5

      Serbian seksikkäin laulaja Milica, 25, purskahti korsetistaan ulos kesken keikan – yleisö villiintyi

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Juo aamulla vettä tyhjään vatsaan – 8 mahtavaa vaikutusta

    2. 2

      Madonna julkaisi haarovälikuvan – Piers Morgan: ”Oksensin aamupalani”

    3. 3

      Valesotilas yritti huijata – Tiina vedättikin takaisin: ”Naurettiin ukkoni kanssa niin, että mahaan koski”

    4. 4

      Häikäisevän kaunis morsian! Mika Häkkinen ja Marketa pääsivät poroajelun kyytiin – suloiset lapset mukana

    5. 5

      Mikan ja Marketan rakkaustarina – saksalaislehti paljasti kaunottaren menneisyyden

    6. Näytä lisää