VTT:n palon turmelema puhdastila taas kunnossa

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Ex-kokki Tuomaksesta tuli autojen huippumyyjä – näin hän myy auton ja vähän muutakin

    2. 2

      Suuri murros edessä – pankkien alettava antaa asiakastietoja ulkopuolisille

    3. 3

      Uutuuskirja: Neuvostoliittolaiset halusivat ranskalaiset kankaat vaatteisiin – Koivisto esti

    4. 4

      Asuntovelallinen, korkosi laskutapa on muuttumassa – varaudu nousuun

    5. 5

      Lounaan hinta muuttuu 10 minuutin välein – helsinkiläisravintola kokeilee ensimmäisenä maailmassa

    6. 6

      Uusi velkaennätys on ovella – maailman yhteenlaskettu velka on käsittämätön summa

    7. 7

      Ruotsissa ollaan lähellä asuntokuplan puhkeamista – ”pitäisi olla jo huolissaan”

    8. 8

      Osa uhatuista tv-kanavista ei pimenekään 1,5 miljoonassa kodissa – ainakaan vielä

    9. 9

      Suomen sähköverkkoon hyökätään jatkuvasti – myös suurvallat aktiivisia

    10. 10

      Maailman arvokkain yhtiö saattaakin olla vasta kuudenneksi arvokkain

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Asuntovelallinen, korkosi laskutapa on muuttumassa – varaudu nousuun

    2. 2

      Suomen sähköverkkoon hyökätään jatkuvasti – myös suurvallat aktiivisia

    3. 3

      Uutuuskirja: Neuvostoliittolaiset halusivat ranskalaiset kankaat vaatteisiin – Koivisto esti

    4. 4

      Joukko tv-kanavia uhkaa pian pimentyä yli 1,5 miljoonassa kodissa

    5. 5

      Tulli paljasti postimyyntiyrityksen törkeän veropetoksen – 2 miljoonan euron mätkyt

    6. 6

      Eduskunta antoi Bernerille luottamuksensa

    7. 7

      Lounaan hinta muuttuu 10 minuutin välein – helsinkiläisravintola kokeilee ensimmäisenä maailmassa

    8. 8

      Osa uhatuista tv-kanavista ei pimenekään 1,5 miljoonassa kodissa – ainakaan vielä

    9. 9

      Ruotsissa ollaan lähellä asuntokuplan puhkeamista – ”pitäisi olla jo huolissaan”

    10. 10

      51 Siwaa ja Valintataloa suljetaan – tässä koko lista

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Nämä kuitit kannattaa säästää – ”Silloin kuittien on löydyttävä”

    2. 2

      Joukko tv-kanavia uhkaa pian pimentyä yli 1,5 miljoonassa kodissa

    3. 3

      Suomalaismies aikoo miljonääriksi 500 päivässä – näin hän sen tekee

    4. 4

      51 Siwaa ja Valintataloa suljetaan – tässä koko lista

    5. 5

      Näin suomalainen mies putoaa työelämästä – ”Ajatellaanko todella, että ihmiset haluavat elää tuilla?”

    6. 6

      Venäläismiljardöörin purjelaiva takavarikoitiin – jättimäinen merilelu maksoi 400 miljoonaa

    7. 7

      Metalliliitto: Työpaikalla pidettiin mustaa listaa työntekijöistä – levisi vahingossa kaikille

    8. 8

      Suomalaismies yritti saada 25 000 euron sairaalakuluja vakuutusyhtiöiltä – joutui mustalle listalle

    9. 9

      Uusi eläkemuoto houkuttelee työttömiä – hetken helpotus voi kostautua

    10. 10

      Pian voi alkaa hakea uutta eläketukea – 760 e/kk

    11. Näytä lisää