Digitoday

Valikko

VTT:n vaurioitunut puhdastila siivottiin ja korjattiin

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Perhesyyt eivät painaneet? Mika Salolla teoria Nico Rosbergin lopettamisesta: ”Kukaan ei tajua sitä…”

    2. 2

      Beth, 22, nukahti sohvalle marraskuussa – heräsi vasta toukokuussa

    3. 3

      Raivostuttiko Donald Trump kiinalaiset? Tuleva presidentti keskusteli Taiwanin presidentin kanssa

    4. 4

      Parrakas Jussi69 toipuu keuhkokuumesta – vaikenee huhutusta suhteesta kansanedustajaan: ”Sen näkee sitten televisiosta”

    5. 5

      5-henkisellä opiskelijaperheellä jää elämiseen 680 €/kk – ”Ei haittaa, vaikka valtio leikkaisi”

    6. 6

      ”Uskomaton tarina ystävyydestä”: Entinen natsisotilas testamenttasi omaisuutensa pienelle skotlantilaiskylälle

    7. 7

      Nico Rosberg hylkäsi valtavan summan rahaa

    8. 8

      Ylen päätoimittaja otti yhteen Ruben Stillerin kanssa Pressiklubissa: ”Päädyit omaan ratkaisuusi”

    9. 9

      Elli Haloo kommentoi ensimmäistä kertaa VilleGallen suhdepaljastuksia: ”En voi sille mitään”

    10. 10

      Nainen teki ”pettämistestin” poikaystävälleen – lopputulos ei ilahduttanut, videolla jo 6 miljoonaa katselukertaa

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Nainen teki ”pettämistestin” poikaystävälleen – lopputulos ei ilahduttanut, videolla jo 6 miljoonaa katselukertaa

    2. 2

      Nico Rosberg pudotti uutispommin – lopettaa F1-uransa!

    3. 3

      Sampsa muutti perheensä Espanjaan – arki iski pian päin kasvoja: Asunto homeessa, sähkölasku 400 €/kk

    4. 4

      Laine ja McDavid ottivat tulisesti yhteen – ”Piti näyttää kaapin paikka”

    5. 5

      Elli Haloo kommentoi ensimmäistä kertaa VilleGallen suhdepaljastuksia: ”En voi sille mitään”

    6. 6

      Eija, 32, huomasi vauvansa olevan erilainen – elämä muuttui pikkuhiljaa painajaiseksi

    7. 7

      Äiti ajoi lasten kanssa turmapaikan ohi ja suri tuntemattoman perheen tuskaa – uhri olikin lasten isä

    8. 8

      Perhesyyt eivät painaneet? Mika Salolla teoria Nico Rosbergin lopettamisesta: ”Kukaan ei tajua sitä…”

    9. 9

      Saara Aallon lauantain X Factor -kappaleet julki – esittää semifinaalissa kaksi jättihittiä

    10. 10

      HS: Kauneusleikkaus jätti Cheyenne Järvisen rintoihin rujot jäljet – myöhemmin rintaan ilmestyi tulehtunut reikä

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Sorrutko sinäkin aina näihin virheisiin? 4 asiaa, jotka kannattaa jättää väliin ennen seksiä

    2. 2

      Raju huhu Lewis Hamiltonista – ”Se on yksityisasia”

    3. 3

      IS seurasi hetki hetkeltä: Saara Aalto räjäytti pankin – ”Yksi parhaista esityksistä koskaan X Factorissa”

    4. 4

      7 yleisen syövän varhaiset varoitusmerkit – tunnista ajoissa

    5. 5

      Raakel Lignellin raju painonpudotus ja tiukka ruokavalio johtivat pysyviin terveysongelmiin: ”Riistäytyi vähän käsistä”

    6. 6

      Aleksi Valavuori julkaisi matkakuvan Los Angelesista: maisemaotos paljastuikin Ikean sisustustauluksi – some repesi

    7. 7

      Eija, 32, huomasi vauvansa olevan erilainen – elämä muuttui pikkuhiljaa painajaiseksi

    8. 8

      Saara Aalto teki historiallisen tempun – kukaan muu brittien X Factorissa ei ole kyennyt samaan

    9. 9

      Pikkujoulujen seksiakti johti harvinaisen kiusalliseen tilanteeseen oikeussalissa – konkarijuristi avautuu

    10. 10

      Vanha teoria Bodomin murhista nousi taas tapetille – ”Se oli meidän kaikkien käsitys”

    11. Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Perhesyyt eivät painaneet? Mika Salolla teoria Nico Rosbergin lopettamisesta: ”Kukaan ei tajua sitä…”

    2. 2

      Beth, 22, nukahti sohvalle marraskuussa – heräsi vasta toukokuussa

    3. 3

      Raivostuttiko Donald Trump kiinalaiset? Tuleva presidentti keskusteli Taiwanin presidentin kanssa

    4. 4

      Parrakas Jussi69 toipuu keuhkokuumesta – vaikenee huhutusta suhteesta kansanedustajaan: ”Sen näkee sitten televisiosta”

    5. 5

      5-henkisellä opiskelijaperheellä jää elämiseen 680 €/kk – ”Ei haittaa, vaikka valtio leikkaisi”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Nainen teki ”pettämistestin” poikaystävälleen – lopputulos ei ilahduttanut, videolla jo 6 miljoonaa katselukertaa

    2. 2

      Nico Rosberg pudotti uutispommin – lopettaa F1-uransa!

    3. 3

      Sampsa muutti perheensä Espanjaan – arki iski pian päin kasvoja: Asunto homeessa, sähkölasku 400 €/kk

    4. 4

      Laine ja McDavid ottivat tulisesti yhteen – ”Piti näyttää kaapin paikka”

    5. 5

      Elli Haloo kommentoi ensimmäistä kertaa VilleGallen suhdepaljastuksia: ”En voi sille mitään”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Sorrutko sinäkin aina näihin virheisiin? 4 asiaa, jotka kannattaa jättää väliin ennen seksiä

    2. 2

      Raju huhu Lewis Hamiltonista – ”Se on yksityisasia”

    3. 3

      IS seurasi hetki hetkeltä: Saara Aalto räjäytti pankin – ”Yksi parhaista esityksistä koskaan X Factorissa”

    4. 4

      7 yleisen syövän varhaiset varoitusmerkit – tunnista ajoissa

    5. 5

      Raakel Lignellin raju painonpudotus ja tiukka ruokavalio johtivat pysyviin terveysongelmiin: ”Riistäytyi vähän käsistä”

    6. Näytä lisää