Digitoday

Valikko

VTT:n vaurioitunut puhdastila siivottiin ja korjattiin

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Suomen ilmakehässä havaittiin mystistä radioaktiivista ainetta – STUK: ”Ei pitäisi olla ilmassa”

    2. 2

      Pariisissa pidätetty ja kotiinsa lähetetty venezuelalaishiihtäjä Adrián Solano, 22, laskeutui Suomeen: ”En ole uskoa tätä”

    3. 3

      Kummisetä antoi 10-vuotiaalle tyttärelle lahjarahaa – Kela rokotti koko perheeltä 341,52 euroa/kk

    4. 4

      Kolmen lapsen yh-äidille annettiin tv-sarjassa 30 000 euroa – törsäsi lähes kaiken neljässä viikossa hajuvesiin ja vaatteisiin: ”Olen pettynyt”

    5. 5

      Anu Saagim haukkui Maria Veitolaa rumaksi suorassa lähetyksessä – Veitola harmistui studioyleisön reaktiosta: ”Yleisö nauraa ja taputtaa”

    6. 6

      Lukiolaistytön viattomasta kuvasta paljastui härski yllätys – mokasta kasvoi maailmanlaajuinen someilmiö

    7. 7

      Cheyenne Järvinen avautuu vihdoin Janna Hurmerinnan ja Junon avioliiton tuhonneesta salasuhteesta – Juno kiitti kohukaunotarta jälkikäteen

    8. 8

      Aavelaiva jumittui kylpylähotellin eteen Saimaalla

    9. 9

      Brittiaristokraatti Lady Victoria, 40, ilmestyi gaalaan yläosattomissa: Läpikuultava verkkoasu paljasti aivan kaiken: ”Käytännössä alasti”

    10. 10

      Katso kuvat: Vuosia nuoremmaksi -ohjelman ensimmäisestä muuttujamies-Esasta, 52, kuoriutui oikea hurmuri!

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Sudet tarttuivat 7-vuotiaaseen poikaan Ähtärin eläinpuistossa – vammat vakavia

    2. 2

      Yleinen virhe wc-pöntöllä: Tästä syystä pyttyyn jää helposti ”jarrutusjäljet”

    3. 3

      Huippukokin pari niksiä: Näin syntyy fantastinen makaronilaatikko

    4. 4

      Kummisetä antoi 10-vuotiaalle tyttärelle lahjarahaa – Kela rokotti koko perheeltä 341,52 euroa/kk

    5. 5

      Rakastunut Olli Lindholm kertoo ensi kertaa: Tällainen on uusi naisystävä Eveliina, 35: ”En ole koskaan tavannut hänen kaltaistaan”

    6. 6

      Hurjat rakkauskilot: Vaimo jättää Askon WhatsApp-viestillä yhtäkkiä: ”Miksei soittanut ja kysynyt, voidaanko nähdä?”

    7. 7

      Lukiolaistytön viattomasta kuvasta paljastui härski yllätys – mokasta kasvoi maailmanlaajuinen someilmiö

    8. 8

      Teinitytön murhasta epäilty vangittiin – näytti oikeussalissa keskisormea

    9. 9

      Kimmo, 47, heräsi yöllä karmeaan jysähdykseen – rekan lava syöksyi läpi talon seinästä: ”Ajattelin, että nyt sortuu torppa”

    10. 10

      Emmerdalesta tuttu näyttelijä kihlautui Britannian väkivaltaisimman ja vaarallisimman vangin kanssa: ”Olen rakastunut häneen”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Prisman kassamyyjä sai pyörätuolimiehen itkemään Helsingissä – jonossa ollut Jatta riensi apuun: ”Olin niin kiukkuinen”

    2. 2

      MTV: Saara Aalto kärsii kiusallisesta ja kivuliaasta naistentaudista: ”Ei parannuskeinoa”

    3. 3

      Pekka Vähäsöyrinki tunnusti Mika Myllylän haudalla, milloin dopinginkäyttö alkoi: ”Siinä hetkessä annoin periksi”

    4. 4

      Stubb opetti Trumpille faktoja Ruotsista – viesti sytytti kiivaan keskustelun

    5. 5

      Tutkijat tekivät pelottavan löydön merenpohjasta 10 kilometrin syvyydestä

    6. 6

      Kanadan hurmuriministeri sai Ivanka Trumpin pasmat sekaisin – flirttaileva kuva leviää vauhdilla

    7. 7

      Nokialla pahoinpidelty 17-vuotias tyttö on kuollut

    8. 8

      Donald Trumpilta outo viittaus Ruotsiin: ”Katsokaa, mitä tapahtui eilen illalla Ruotsissa – kuka olisi uskonut?”

    9. 9

      Vaikein kuva-arvoitus ikinä? 12 erikoisjoukkojen sotilasta on maastoutunut nerokkaasti tähän kuvaan – kuinka monta löydät?

    10. 10

      Riipaiseva video: Mies kosi tyttöystäväänsä täydessä ostoskeskuksessa – romanttinen ele päättyi järkyttävään nöyryytykseen

    11. Näytä lisää

    Näitä luetaan!

    1. 1

      Suomen ilmakehässä havaittiin mystistä radioaktiivista ainetta – STUK: ”Ei pitäisi olla ilmassa”

    2. 2

      Pariisissa pidätetty ja kotiinsa lähetetty venezuelalaishiihtäjä Adrián Solano, 22, laskeutui Suomeen: ”En ole uskoa tätä”

    3. 3

      Kummisetä antoi 10-vuotiaalle tyttärelle lahjarahaa – Kela rokotti koko perheeltä 341,52 euroa/kk

    4. 4

      Kolmen lapsen yh-äidille annettiin tv-sarjassa 30 000 euroa – törsäsi lähes kaiken neljässä viikossa hajuvesiin ja vaatteisiin: ”Olen pettynyt”

    5. 5

      Anu Saagim haukkui Maria Veitolaa rumaksi suorassa lähetyksessä – Veitola harmistui studioyleisön reaktiosta: ”Yleisö nauraa ja taputtaa”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Sudet tarttuivat 7-vuotiaaseen poikaan Ähtärin eläinpuistossa – vammat vakavia

    2. 2

      Yleinen virhe wc-pöntöllä: Tästä syystä pyttyyn jää helposti ”jarrutusjäljet”

    3. 3

      Huippukokin pari niksiä: Näin syntyy fantastinen makaronilaatikko

    4. 4

      Kummisetä antoi 10-vuotiaalle tyttärelle lahjarahaa – Kela rokotti koko perheeltä 341,52 euroa/kk

    5. 5

      Rakastunut Olli Lindholm kertoo ensi kertaa: Tällainen on uusi naisystävä Eveliina, 35: ”En ole koskaan tavannut hänen kaltaistaan”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Prisman kassamyyjä sai pyörätuolimiehen itkemään Helsingissä – jonossa ollut Jatta riensi apuun: ”Olin niin kiukkuinen”

    2. 2

      MTV: Saara Aalto kärsii kiusallisesta ja kivuliaasta naistentaudista: ”Ei parannuskeinoa”

    3. 3

      Pekka Vähäsöyrinki tunnusti Mika Myllylän haudalla, milloin dopinginkäyttö alkoi: ”Siinä hetkessä annoin periksi”

    4. 4

      Stubb opetti Trumpille faktoja Ruotsista – viesti sytytti kiivaan keskustelun

    5. 5

      Tutkijat tekivät pelottavan löydön merenpohjasta 10 kilometrin syvyydestä

    6. Näytä lisää